Specification

Units

Tolerance

Total Travel

mm

≥ 5

Payload Mass 1

g

0 - 1,000

Full Travel Accuracy (2σ) 2,3

µm

5

Full Travel Bi-directional Repeatability (2σ) 2,3

µm

1

Bi-directional Repeatability, 100nm move(2σ) 2,3

nm

≤ 25

Home  Repeatability (2σ)

µm

≤ 1

Minimum Move

nm

15

Servo Bandwidth

Hz

> 225

Move and  Settle  (100nm step,   ±15nm)  3

ms

≤ 15

Move and  Settle  (250nm step,   ±15nm)  3

ms

≤ 15

Servo Stability

nm (rms)

≤ 5

Max Velocity (1.25nm feedback resolution)

mm/s

30

Max Velocity (5nm feedback resolution)

mm/s

125

Max Acceleration with 1kg Payload

m/s2

6

Dimensions (excluding  objective mount)

mm

77H x 82W x 30D

Communications Options: RS232, RS485, CAN, Step & Direction)